Ürüne Genel Bakış
Bu Elektron Işını Buharlaştırmalı İnce Film Ekipmanı, yüksek-hassasiyette fiziksel buhar biriktirme (PVD) için tasarlanmıştır. Kaynak malzemeleri bombardıman etmek için odaklanmış yüksek-enerjili elektron ışınını kullanan sistem, yüksek-erime noktalı- metaller, oksitler ve dielektrik malzemeler için yüksek buharlaşma hızlarına ulaşır.
Modüler bir vakum mimarisi üzerine inşa edilen sistem, çok-cepli elektron tabancalarını, özelleştirilebilir alt tabaka bağlantılarını ve gelişmiş-yerinde izlemeyi barındırır. Film stokiyometrisi, yapışma ve optik performans üzerinde sıkı kontrol gerektiren Ar-Ge laboratuvarlarına ve{{3}yüksek verimli üretim hatlarına hizmet eder.
-
![Yüksek Vakumlu Elektron Işını Buharlaştırma Ekipmanı]()
Yüksek Vakumlu Elektron Işını Buharlaştırma EkipmanıEBE-Serisi Yüksek Vakumlu Elektron Işını Buharlaştırma Sistemi, optik, yarı iletken ve metalurji uygulamaları için yüksek-saflıkta ince filmler biriktirir. Manyetik olarak odaklanmış bir elektron...daha fazla -
![Elektron Işınlı İnce Film Biriktirme Sistemi]()
Elektron Işınlı İnce Film Biriktirme SistemiElektron Işınlı İnce Film Biriktirme Sistemi, ileri araştırma ve endüstriyel üretim için yönlü, yüksek{0}}saflıkta PVD işleme sağlar. Suyla-soğutulmuş bir bakır potanın içindeki kaynak malzemeye...daha fazla -
![Elektron Işını Vakumlu Buharlaştırma Ekipmanları]()
Elektron Işını Vakumlu Buharlaştırma EkipmanlarıBu Elektron Işınlı Vakumlu Buharlaştırma Sistemi, yüksek-erime-noktalı metallerin, oksitlerin ve dielektriklerin fiziksel buhar biriktirmesini (PVD) gerçekleştirir. Odaklanmış bir elektron ışınını...daha fazla -
![Elektron Işını İnce Film Biriktirme Ekipmanı]()
Elektron Işını İnce Film Biriktirme EkipmanıBu endüstriyel elektron ışını biriktirme sistemi, yüksek-yoğunluktaki enerji akışlarını su-soğutmalı bakır ocaklara yönlendirmek için manyetik olarak odaklanmış elektron tabancaları (3 kW ila 15...daha fazla -
![Elektron Işınlı Buharlaşma İnce Film Sistemi]()
Elektron Işınlı Buharlaşma İnce Film SistemiEBE-Serisi Elektron Işını Buharlaştırma Sistemi, yüksek-erime-noktalı metallerin, dielektriklerin ve optik malzemelerin fiziksel buhar biriktirmesi (PVD) için tasarlanmıştır. Sistem, su-soğutmalı...daha fazla -
![Elektron Işını Buharlaşması İnce Film Ekipmanı]()
Elektron Işını Buharlaşması İnce Film EkipmanıEBE-V600 serisi, optik bileşenlerin, yarı iletken cihazların ve gelişmiş malzemelerin hassas ince-film kaplaması için tasarlanmış endüstriyel-ölçekli bir fiziksel buhar biriktirme (PVD)...daha fazla
Teknik Özellikler
|
Parametre |
Şartname Aralığı |
Notlar / Standart Yapılandırma |
|
Nihai Taban Basıncı |
< 5.0 × 10^-6 Pa |
Kriyojenik veya turbo-moleküler pompalama grupları aracılığıyla elde edilir |
|
Hazne Boyutları |
Özelleştirilmiş (500 mm ila 1200 mm iç çap) |
304L / 316L paslanmaz çelik, elektro-parlatılmış |
|
E-Silah Gücü Derecesi |
6 kW ila 15 kW (Çoklu-cep süpürme jeneratörleri) |
Programlanabilir ışın sapması ve çoklu-pota indeksleme |
|
Biriktirme Oranı |
0,1 nm/s ila 10 nm/s |
Kuvars kristal monitör aracılığıyla gerçek-zamanlı-döngü kontrolü |
|
Film Kalınlığı Tekdüzeliği |
< ±1% to ±2% across standard substrates |
Değişken hız dönüşüne sahip planet veya kubbe alt tabaka fikstürü |
|
Yüzey Sıcaklığı |
Ortamdan 800 dereceye kadar |
PID termal geri bildirimli entegre radyant ısıtma |
Temel Ekipman Özellikleri
Yüksek-Kararlılık Elektron Tabancası:
Kaynak malzemelerin yerel olarak aşırı ısınmasını önlemek ve reaktif buharlaşma sırasında saçılmayı ortadan kaldırmak için manyetik sapma ve{0}}çok noktalı odaklama özelliğine sahiptir.
Modüler Pota Tasarımı:
4 ila 6-cep indekslenebilir ocak ile donatılmış olup, vakumu bozmadan çok katmanlı kaplamalara olanak sağlar.
Gelişmiş Vakum Kilidi:
PLC-kontrollü pnömatik valfler, otomatik kaba işleme/yüksek-vakum sıralaması ve kilitler, soğutma suyu arızasına ve güç anormalliklerine karşı koruma sağlar.
Düşük-Kirlilik Odası:
Dahili korumada, hızlı partikül azaltımı ve bakım geri dönüşü için çıkarılabilir astarlara sahip elektro-parlatılmış paslanmaz çelik kullanılır.
Film Malzemeleri ve Yüzeyleri
Uyumlu Buharlaşma Malzemeleri
Metaller: Au, Ag, Al, Ti, Cr, Ni, Pt, Cu, Mo, W
Dielektrikler ve Oksitler: SiO2, TiO2, Al2O3, Ta2O5, HfO2, ITO
Yüzey Türleri
Silikon gofretler (2 inç ila 12 inç)
Optik cam, erimiş silika ve kuvars yüzeyler
Esnek polimer filmler (poliimid, rulodan-ruloya-rulo modülleri aracılığıyla PET)
Seramik yüzeyler (Al2O3, AlN)
Uygulamalar
Optik Kaplamalar:
Lazer ve fotonik sistemler için-yansımayı önleyici (AR) kaplamalar, dar-bant filtreleri ve yüksek-yansıtıcılığa sahip aynalar.
Yarı İletken Cihazlar:
Mikroelektronik için ohmik temas oluşumu, kapı metalizasyonu ve{0}kaldırma işlemi.
Optoelektronik:
OLED ekranlar ve fotovoltaik hücreler için şeffaf iletken oksit (TCO) katmanları ve ince filmler.
Gelişmiş Ar-Ge:
Keşif amaçlı ince-film manyetik katmanlar, süperiletken filmler ve çok-katmanlı heteroyapılar.
Özelleştirme ve Sistem Yapılandırması
Her ince{0}film sistemi, belirli süreç tarifleri ve tesis düzenleriyle eşleşecek şekilde yapılandırılır. Mevcut mühendislik uyarlamaları şunları içerir:
Pompalama Yığını Seçimi:
Temel vakum ve üretim gereksinimlerine göre uyarlanmış turbo-moleküler pompalar (TMP), kriyo pompalar veya yağ-difüzyon yapılandırmaları.
Entegrasyonu Yükle-:
Ultra-yüksek vakum bütünlüğünü korumak ve levha verimini artırmak için manuel yükleme-kilitleme veya otomatik çok{{1} odalı küme sistemleri.
Yerinde- Metroloji:
Spektroskopik elipsometreler, optik monitörler veya artık gaz analizörleri (RGA) için entegrasyon portları.
Kontrol Yazılımı:
Akıllı fabrika entegrasyonu için reçete depolama, veri kaydı ve SECS/GEM iletişim protokollerine sahip özel PLC/HMI arayüzü.
Üretim ve Kalite Kontrol
Gemi İmalatı:
Tüm vakum odaları, < 1 × 10^-9 Pa·m³/s ret eşiğiyle helyum kütle spektrometresi sızıntı testine tabi tutulur.
Kaynak Bütünlüğü:
TIG kaynağı inert gaz koruması altında gerçekleştirilir, ardından gaz çıkışını azaltmak için iç yüzey pasifleştirme ve mekanik cilalama yapılır.
Fabrika Kabul Testi (FAT):
72-saatlik sürekli kuru-çalışma testi, pompalama eğrilerini, e-tabanca süpürme hassasiyetini, kilitleme tepki sürelerini ve kasaya yerleştirmeden önce termal stabiliteyi ölçer.
Uyumluluk ve Standartlar:
CE direktiflerini ve ilgili SEMI (S2/S8) güvenlik ve ergonomi yönergelerini karşılayacak şekilde tasarlanmış sistemlerle, ISO 9001 sertifikalı bir kalite yönetim sistemi altında üretilmiştir.
SSS
Çin'de -önde gelen elektron ışını buharlaştırma ince film ekipmanı üreticilerinden ve tedarikçilerinden biri olarak tanınıyoruz. Çin'de üretilen özelleştirilmiş elektron ışını buharlaştırma ince film ekipmanı satın alacaksanız fabrikamızdan fiyat listesi almaya hoş geldiniz. Fiyat danışmanlığı için bizimle iletişime geçin.
