Elektron Işını Buharlaşması İnce Film Ekipmanı

EBE-V600 serisi, optik bileşenlerin, yarı iletken cihazların ve gelişmiş malzemelerin hassas ince-film kaplaması için tasarlanmış endüstriyel-ölçekli bir fiziksel buhar biriktirme (PVD) platformudur. Sistem, yüksek-enerjili, manyetik olarak odaklanmış bir elektron ışınını su-soğutmalı potaların içindeki kaynak malzemelere yönlendirerek, termal yükleri oda duvarlarından izole ederken hızlı buharlaşma oranlarına ulaşır.

Mimari, çok-cepli elektron kaynakları ve ikili kuvars kristal mikro denge (QCM) sensörlerini bir araya getirerek çok-katmanlı dielektrik veya metalik yığınlarda stokiyometrik film doğruluğu ve tutarlı kalınlık kontrolü sağlar.

270 derece Manyetik Saptırma E-Tabancası:Tungsten filamanı doğrudan buhar yollarından izole ederek kısa devreyi-önler ve bakım aralıkları arasındaki çalışma ömrünü uzatır.

Dijital Tarama Kontrolü:Programlanabilir raster desenleri, elektron enerjisini buharlaşan yüzey boyunca eşit bir şekilde dağıtarak alaşım biriktirme sırasında iğne deliği oluşumunu ve tercihli buharlaşmayı azaltır.

Ayrılmış Vakum Mimarisi:Kaba işleme ve yüksek{0}vakumlu pompalama hatları, filmin büyümesi sırasında mekanik titreşim aktarımını bastırmak için ana oda çerçevesinden yapısal olarak izole edilmiştir.

Donanım Kilitleme Güvenlik Matrisi:Soğutma suyu akışının, yüksek-voltaj geri bildiriminin, pnömatik basıncın ve kapı contasının bütünlüğünün gerçek-PLC ile izlenmesi.

Vakum alt-devresi, büyüyen filmlerde artık gaz oluşumunu (H2O, O2, N2) en aza indirmek amacıyla hızlı döngü ve düşük taban basıncı için tasarlanmıştır:

Yüksek-Vakum Pompası:Çift-kademeli döner kanatlı pompayla (veya temiz oda uyumluluğu için kuru kaydırmalı pompa yapılandırmasıyla) desteklenen 1200 L/s turbo-moleküler pompa.

İzolasyon valfi:Yükleme işlemleri sırasında hazneyi izole eden, pnömatik olarak çalıştırılan yüksek-iletkenliğe sahip sürgülü vana.

Vakum Ölçümü:Atmosferden 10^-6 Pa'ya kadar sürekli aralığı kapsayan birleşik Pirani ve Soğuk Katot iyonizasyon göstergeleri.

Uyumlu Evaporant Kaynakları

Optik Girişim Filtreleri:Dar-bant geçiren filtreler ve lazer aynalar için yüksek-indeksli ve düşük-indeksli çok-katmanlı yığın biriktirme.

Yarı İletken Cihaz İmalatı:Ohmik kontak oluşumu, kapı oksit birikimi ve metal tohum katmanları.

OLED ve Ekran Araştırması:İnce metalik katot biriktirme ve çok-katmanlı organik/inorganik pasivasyon testleri.

Sert Refrakter Kaplamalar:Mekanik ve havacılık bileşenleri için koruyucu,{0}}dirençli, aşınmaya dayanıklı katmanlar.

Oda Genişlemesi:Küme aracı entegrasyonu için özel olarak tasarlanmış genişletilmiş kap yükseklikleri veya dikdörtgen geometriler.

Kaynak Entegrasyonu:Eş zamanlı termal buharlaştırma kaynakları (dirençli tekneler) elektron ışın tabancalarıyla birleştirilmiştir.

İyon-Yardımlı Biriktirme (IAD):Film yoğunlaştırma ve stres ayarı için bir uç-Hall veya Kaufman iyon kaynağının entegrasyonu.

Yazılım Mimarisi:Siemens S7 veya Beckhoff otomasyon çerçeveleriyle uyumlu PLC/HMI tarif programlama.

Kütle Spektrometresi Helyum Sızıntı Testi:Her oda kaynağı, entegrasyon öncesinde < 1 x 10^-9 Pa·m3/s'lik bir reddetme eşiğine kadar test edilir.

Elektrik Uyumluluğu:CE/UL kurallarına göre yüksek-voltajlı dielektrik dayanım testleri ve topraklama sürekliliği doğrulaması.

Fabrika Kabul Testi (FAT):72-saatlik sürekli kuru-çalışma testi günlüğü taban basınç eğrileri, e-ışın tarama tekrarlanabilirliği ve kilitleme yanıt süreleri. Üniteyle birlikte gönderilen test belgeleri.

Sitenin Devreye Alınması:Fabrika-sertifikalı mühendisler, mekanik hizalamayı, vakum kaçağı doğrulamasını, şebeke bağlantısı denetimini ve ilk kalibrasyon çalışmalarını yönetir.

Teknik Eğitim:Filament değişimi, vakum valfinin yeniden inşası ve tarif düzenlemeyi kapsayan 3-günlük yerinde operasyon ve bakım protokolü eğitimi.

Dokümantasyon Teslimatları:P&ID şemaları, elektrik bağlantı şemaları, PLC yedekleme dosyaları ve yedek parça öğelerini içeren eksiksiz teknik dosyalar.