Çin PVD Kompozit İnce Film Ekipman Üreticileri Tedarikçi Fabrikası

Ürüne Genel Bakış

PVD Kompozit İnce Film Ekipmanı, çok-katmanlı, alaşımlı ve nanokompozit ince filmlerin biriktirilmesi için tasarlanmış endüstriyel bir vakum biriktirme platformudur. Magnetron püskürtme ve katodik ark kaynaklarını tek bir vakum odasında entegre eden sistem, filmin mikro yapısı, artık gerilim ve arayüzey yapışması üzerinde hassas kontrol sağlar. Sürekli üretim ve gelişmiş Ar-Ge için tasarlanan platform, ölçeklenebilir oda geometrilerine sahip metalik, seramik ve polimer alt tabakaları barındırır.

PVD Kompozit Vakumlu Biriktirme Ekipmanı
Bu endüstriyel PVD kompozit vakum biriktirme platformu, tek biçimli, çok-katmanlı metalik, alaşımlı veya dielektrik ince filmleri biriktirmek için birden fazla biriktirme tekniğini tek odacıklı...
daha fazla
PVD Hibrit İnce Film Biriktirme Sistemi
PVD Hibrit İnce Film Biriktirme Sistemi, termal buharlaştırmayı, elektron ışını (e-ışını) buharlaştırmayı ve RF/DC magnetron püskürtmeyi tek bir vakum mimarisi içerisinde birleştirir. Bu platform,...
daha fazla
PVD Çok-İşlemli İnce Film Ekipmanı
PVD Çok İşlemli İnce Film Ekipmanı, RF/DC Magnetron Püskürtme, Termal Buharlaştırma ve Elektron Işını Buharlaştırma dahil olmak üzere çok sayıda ince film üretim tekniğini birleşik bir vakum...
daha fazla
PVD Kompozit Biriktirme Ekipmanları
Endüstriyel PVD Kompozit Biriktirme Ekipmanı, çok-bileşenli, çok-katmanlı ve nano-kompozit ince-film üretimi için tasarlanmıştır. Sistem, film bileşimini, arayüz keskinliğini ve artık gerilimi...
daha fazla
PVD Kompozit İnce Film Sistemi
Magnetron püskürtmeyi (RF/DC/HiPIMS) ve katodik ark buharlaştırmayı entegre eden endüstriyel{0}}sınıf vakumlu kaplama sistemi. Üretim ölçeğinde sürekli, çok-katmanlı, alaşımlı ve nano-kompozit...
daha fazla
PVD Kompozit İnce Film Ekipmanı
PVD Kompozit İnce Film Ekipmanı, çok-katmanlı, alaşımlı ve kademeli ince filmleri sentezlemek için tasarlanmış endüstriyel bir vakum platformudur. Modüler bir 304L/316L paslanmaz çelik mimarisi...
daha fazla

Teknik Özellikler

Parametre	Şartname Aralığı
Üstün Vakum Basıncı	<= 5.0 x 10^-5 Pa (Cryogenic/Turbomolecular pumping suite)
Çalışma Basıncı	0,1 Pa - 5.0 Pa
Yüzey Sıcaklığı	Ortam ila 800 derece (Kapalı-döngü PID kontrollü)
Biriktirme Kaynakları	Yapılandırılabilir: DC/RF Magnetron Püskürtme, Darbeli DC, Filtrelenmiş Katodik Ark
Kalınlık Tekdüzeliği	< +/- 3% across standard 300 mm substrate carrier
Hazne Malzemesi	304L/316L Paslanmaz Çelik, mekanik taşlanmış ve elektro-parlatılmış (Ra<= 0.4 um)
Güç Kaynağı Entegrasyonu	MF jeneratörleri (10-100 kHz), RF jeneratörleri (13,56 MHz), Darbeli DC öngerilim
Kontrol Sistemi	Otomatik tarif yürütme, kilitleme izleme ve toplu veri kaydı özelliklerine sahip endüstriyel PLC + IPC

Kompozit Biriktirme Süreci

Sistem, magnetron püskürtme ve katodik ark teknolojilerini birleştiren hibrit bir fiziksel buhar biriktirme mimarisini kullanıyor.

Çoklu-Kaynaklı Sinerji:

Çoklu katotların eşzamanlı veya sıralı çalışması, film yığını boyunca ani veya kademeli kompozisyon geçişlerine olanak tanır.

İyon Aşındırma Ön-Temizlik:

RF veya DC plazma temizleme aşamaları, kaplamanın{0}}alt tabakaya-yapışmasını en üst düzeye çıkarmak için biriktirmeden önce doğal oksitleri ve yüzey kirleticilerini temizler.

Reaktif Biriktirme Kontrolü:

Kapalı-döngü optik emisyon spektroskopisi (OES), kararlı bileşik stokiyometrisini korumak ve hedef zehirlenmesini önlemek için reaktif gaz enjeksiyonunu (O2, N2, C2H2) düzenler.

Yüzey Eğilimi:

Senkronize darbeli öngerilimli güç kaynakları, büyüyen filmi yüksek-enerjili iyonlarla bombalayarak mikro yapıyı yoğunlaştırır ve kalan basınç gerilimini uygun hale getirir.

Film Malzemeleri

Ekipman, özelleştirilmiş işlevsel gereksinimler için geniş bir hedef malzeme yelpazesini destekler:

Geçiş Metal Nitrürleri ve Karbürleri:

Aşınma ve korozyon direnci için TiN, TiAlN, CrN, ZrN, TiCN.

Nanokompozit ve Çok Katmanlı Sistemler:

Aşırı sertlik ve yüksek-sıcaklıkta termal kararlılık için TiSiN, AlTiSiN, metal/seramik nano katmanlar.

Şeffaf İletken Oksitler (TCO):

Optoelektronik ve fotovoltaik uygulamalar için ITO, AZO, IGZO.

Saf Metaller ve Alaşımlar:

Elektriksel temas ve difüzyon bariyeri katmanları için Ti, Cr, Al, Cu, Paslanmaz Çelik, NiCr.

Uygulamalar

Hassas Kesme Aletleri:

Yüksek termal yükler altında çalışma ömrünü uzatmak için karbür uçlar, matkaplar ve parmak frezeler üzerine süper-sert, düşük-sürtünmeli kaplamaların (ör. TiAlN) birikmesi.

Otomotiv Bileşenleri:

Piston segmanları, yakıt enjeksiyon parçaları ve dişli düzenekleri üzerinde sürtünmeyi-azaltan ve aşınmaya{{1} dirençli filmler.

Optoelektronik ve Ekranlar:

Dokunmatik paneller ve güneş pili alt katmanları için düşük-dirençli, yüksek-iletimli iletken oksit katmanları.

Tıbbi Cihazlar:

Cerrahi aletler ve ortopedik implantlar üzerinde biyouyumlu ve aşınmaya{0} dirençli kaplamalar.

Özelleştirme ve Sistem Yapılandırması

Mühendislik konfigürasyonları belirli üretim tesisi kısıtlamalarına ve süreç tariflerine uyarlanmıştır:

Hazne Boyutlandırması:

Ar-Ge toplu sistemlerinden (500 mm çap) büyük-ölçekli üretim yükü-kilit sistemlerine (1000 mm+) kadar değişen silindirik veya dikdörtgen oda seçenekleri.

Pompalama Paketi Seçimi:

Gerekli pompalama kesinti sürelerine ve gaz yükü profillerine göre eşleşen kök üfleyiciler, turbomoleküler pompalar ve kriyojenik pompalar.

Yüzey Fikstürü:

Özelleştirilmiş gezegensel dönüş aşamaları, 3-eksenli uydu dönüşü veya karmaşık 3B geometriler veya sürekli ağlar için tasarlanmış rulodan-ruloya modüller.

Otomasyon Seviyesi:

Yarı-otomatik manuel yükleme yapılandırmaları veya robotik alt tabaka işleme özelliğine sahip tam otomatik vakum transfer sistemleri.

Üretim ve Kalite Kontrol

Sızıntı Tespiti:

Her vakum odası, < 1 x 10^-10 Pa * m^3/s eşiğine kadar helyum kütle spektrometresi sızıntı testine tabi tutulur.

Kaynak Muayenesi:

Vakumlu-yan kaynaklar TIG kaynaklıdır, taşlanır ve cilalanır, ardından istek üzerine X-ışını veya boya penetrant muayenesi yapılır.

Elektrik ve Güvenlik Uyumluluğu:

NFPA 79 veya CE/IEC standartlarına uygun olarak üretilmiş, su akışı, gaz basıncı ve elektrik güvenliği için donanım kilitlemelerine sahip kontrol panelleri.

Fabrika Kabul Testi (FAT):

Sevkiyat öncesi-testler, 72{{2}saatlik sürekli kuru-çalıştırma döngüsünü, vakum performansı doğrulamasını ve müşteri tarafından belirlenen tarifler kullanılarak test kaplama biriktirmeyi içerir.

Kurulum ve Teknik Destek

Site Hazırlama Yönergeleri:Tesis arayüzlerini (soğutma suyu akışı/basıncı, elektrik yükü, basınçlı hava, egzoz) detaylandıran kapsamlı tesis gereksinimleri belgesi sağlanmıştır.

-Sitede Hizmete Alma:Saha servis mühendisleri mekanik hizalama, vakum sızıntısı kontrolleri, elektrik bağlantılarını-ve ilk kalibrasyonu gerçekleştirir.

Süreç Tarifi Ayarlama:Hedef film kalınlığı, gerilim ve sertlik parametrelerini belirlemek için-müşteri metalürjistleri ve süreç mühendisleriyle yerinde işbirliği.

Yaşam Döngüsü Desteği:Uzaktan teşhis arayüzü, yerelleştirilmiş yedek parça envanteri ve planlı önleyici bakım programları.

PVD Composite Vacuum Deposition Equipment

SSS

S: Temel basınca ulaşmak için tipik pompa-kapalı kalma süresi nedir?

C: Standart yüksek-vakum konfigürasyonları (kök/döner kanatlı destek pompalarıyla eşleştirilmiş turbomoleküler veya kriyojenik pompalar) kullanılarak oda, oda hacmine ve nem gaz çıkış yüküne bağlı olarak 25 ila 40 dakika içinde atmosferden < 5,0 x 10^-4 Pa'ya boşaltılır.

S: Sistem, reaktif ve-reaktif olmayan püskürtme modları arasında otomatik olarak geçiş yapabilir mi?

C: Evet. PLC kontrol yazılımı, kütle akış kontrolörlerini (MFC'ler) ve güç kaynağı çıkışlarını dinamik olarak yöneterek, tek bir işlem döngüsü içinde metalik biriktirme ile reaktif bileşik oluşumu arasında otomatik geçişe olanak tanır.

S: Standart gezegensel dönüş aşaması hangi alt tabaka geometrilerine uyum sağlayabilir?

C: Standart 3 eksenli planeter fikstür, kesici takımlar ve otomotiv valfleri gibi karmaşık 3 boyutlu bileşenleri yönetir. Özel aparatlar, 400 mm x 400 mm'ye kadar düz alt tabakalar veya silindirik rulolar için tasarlanabilir.

S: Büyük partiler arasında film kalınlığının aynı olmasını nasıl sağlıyorsunuz?

C: Tekdüzelik, optimize edilmiş katot--alt tabaka mesafesi, yerelleştirilmiş manyetik alan profili simülasyonu ve çok-eksenli gezegen dönüşü yoluyla elde edilir. Gerçek tekdüzelik, FAT sırasında tanık numunesi testiyle doğrulanır.

S: Standart bir endüstriyel ünitenin hizmet gereksinimleri nelerdir?

C: Tipik olarak 3 fazlı 380V/480V (50/60Hz), soğutulmuş soğutma suyu kaynağı (3 ila 4 bar'da yaklaşık 15 ila 20 derece), pnömatik valfler için basınçlı hava (6 bar) ve havalandırma için temiz kuru hava veya nitrojen gerektirir. Tam yükler güç kaynağı yapılandırmasına göre değişir.

Çin'in-önde gelen pvd kompozit ince film ekipmanı üreticilerinden ve tedarikçilerinden biri olarak tanınıyoruz. Çin'de üretilen özelleştirilmiş pvd kompozit ince film ekipmanı satın alacaksanız fabrikamızdan fiyat listesi almaya hoş geldiniz. Fiyat danışmanlığı için bizimle iletişime geçin.