Magnetron püskürtmeyi (RF/DC/HiPIMS) ve katodik ark buharlaştırmayı entegre eden endüstriyel{0}}sınıf vakumlu kaplama sistemi. Üretim ölçeğinde sürekli, çok-katmanlı, alaşımlı ve nano-kompozit ince-film biriktirme için tasarlanmıştır.
Teknik Özellikler
|
Parametre |
Şartname Değeri |
|
Üstün Vakum Basıncı |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and roots-rotary pump configuration) |
|
Hazne Boyutları |
D 600 mm x 600 mm'den D 1500 mm x 1500 mm'ye kadar özel boyutlandırma (304/316L elektro-parlatılmış paslanmaz çelik) |
|
Biriktirme Kaynakları |
Yapılandırılabilir: 2-6 magnetron püskürtme katodu / 2-4 ark kaynağı |
|
Substrat Eğilim Gücü |
0 ila -1000 VDC ayarlanabilir (dielektrik yüzeyler için darbeli DC) |
|
Film Kalınlığı Tekdüzeliği |
<= +/- 3% across standard planar holder (via dynamic planetary rotation) |
|
Yüzey Sıcaklığı |
Ortam ila 650 derece (+/- 2 derece PID kapalı-döngü kontrolü) |
|
Güç Dağıtımı |
Ark bastırmalı RF (13,56 MHz), DC, Darbeli DC ve Orta-Frekans (MF) |
Temel Özellikler
İkili-Teknoloji Entegrasyonu:Püskürtme (pürüzsüz, amorf bileşik filmler) ve katodik arkı (yüksek-iyonlaşmalı metal/alaşım biriktirme) tek bir pompa-döngüsünde birleştirir.
Kapalı-Döngü Gaz Yönetimi:Optik emisyon izleme (OEM) ile eşleştirilmiş Kütle Akış Kontrolörleri (MFC'ler), reaktif gaz kısmi basınçlarını dengeler.
Mekanik İzolasyon:Çok-eksenli planet dişliler, mekanik yatakları proses bölgesinden izole ederek partikül kirlenmesini önler.
Termal Mimari:Çift-duvarlı, su-soğutmalı oda duvarları ve radyasyon kalkanı, yüksek-güçte çalışma sırasında termal bozulmayı önler.
Otomasyon Çekirdeği:Gerçek zamanlı kilitleme, gaz ve güç izleme için Siemens S7-1500 PLC ve WinCC SCADA mimarisi.
Vakum Sistemi Konfigürasyonu
Kaba İşleme Treni:Manyetik sıvı contalı Roots üfleyiciler tarafından desteklenen doğrudan-tahrikli döner kanatlı pompalar.
Yüksek Vakum:Manyetik olarak kaldırılan turbo-moleküler pompalar (1200 - 3200 L/s) veya kriyojenik pompalar.
Teşhis:Entegre Helyum kütle spektrometresi test portları ve otomatik sıralama kilitleri.
Malzemeler ve Yüzey Uyumluluğu
Hedef Malzemeler:
Metaller:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl, CrAl, Si
Seramikler/Bileşikler:TiN, CrN, TiAlN, DLC, Al2O3, SiO2
Yüzeyler:Takım Çelikleri (H13, M2, karbür uçlar), Titanyum/Alüminyum yapısal alaşımlar, mühendislik seramikleri ve silikon levhalar.
Uygulamalar ve Kanıtlanmış Performans
Kesici Aletler:Kuru yüksek hızda işleme altında daha uzun takım ömrü için düşük-sürtünmeli, yüksek-sertlikli çok-katmanlı kaplamalar (TiAlN/TiN).
Otomotiv:Piston segmanları ve yakıt enjeksiyon pimleri için-aşınma ve sürtünme önleyici kaplamalar.
Havacılık:Kompresör bıçakları ve bağlantı elemanları üzerinde oksidasyona-dayanıklı termal bariyer ve koruyucu filmler.
Optik ve Elektronik:İletken şeffaf oksitler (ITO) ve optik girişim filtreleri.
Özelleştirme Seçenekleri
Oda Geometrisi:Toplu raf yüklemesi veya silindirik hat içi geometriler için dikdörtgen kutu konfigürasyonları.
Kaynağın Güçlendirilmesi:CFUBMS'ye sahada dönüşüm için değiştirilebilir katot montaj flanşları.
Plazma Dağlama:Yerinde alt tabaka temizliği için Kaufmann-tipi iyon tabancaları veya içi boş katot kaynakları-.
Kalite Kontrol ve Fabrika Testleri
Vakum Bütünlüğü:Helyum sızıntısı testi eşiği<= 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.
Yüzey İşlemi:Odanın iç kaynakları Ra'ya göre elektro-parlatılmış<= 0.4 um.
YAĞ:Kasaya yerleştirmeden önce vakum, hareket ve güvenlik kilitleme döngülerinin 72-saatlik sürekli deneme testi.
Uyumluluk Standartları:CE makine direktiflerine ve ISO 9001 standartlarına uygun olarak üretilmiştir. (Güven Rozeti Simgeleri: ISO 9001, CE, UL)
Kurulum ve Teknik Destek
Dokümantasyon Paketi:P&ID şemaları, elektrik bağlantı şemaları, PLC kaynak mantığı ve CE/UL uyumluluk dosyaları.
Devreye alma:Saha mühendisleri mekanik konumlandırmayı, tesisat bağlantılarını ve sızıntı kontrolü doğrulamasını denetler.
SAT ve Tarif Devri:-Sitede temel test çalışmaları ve tarif optimizasyonu.
SSS
S: Pompanın-temel basınca kadar kapalı kalma süresi nedir?
A: Temiz, kuru ve ortam termal koşulları altında 45 dakika içinde < 5,0 x 10^-4 Pa'ya ulaşır.
S: Sistem, sürecin ortasında DC ve RF püskürtme arasında geçiş yapabilir mi?
C: Evet. Güç matrisi, vakumu bozmadan DC, darbeli DC ve RF arasında yazılım-kontrollü sıralamaya izin verir.
S: Sitede-hangi yardımcı programlar gereklidir?
A: Soğutulmuş su (0,3 ila 0,4 MPa'da 15 ila 20 derece), basınçlı hava (0,6 MPa), yüksek-saflıkta proses gazları (%99,999'da Ar, N2, O2) ve özel 3 fazlı endüstriyel güç.
S: Biriktirme sırasında substrat sıcaklığı nasıl düzenlenir?
C: Radyant ısıtıcı sıraları ve PID kapalı{0}}döngü kontrolüyle birleştirilmiş entegre kızılötesi pirometreler.
Popüler Etiketler: pvd kompozit ince film sistemi, Çin pvd kompozit ince film sistemi üreticileri, tedarikçiler, fabrika
