Ürüne Genel Bakış
Hassas bileşenlere sert kaplamalar, fonksiyonel filmler ve dekoratif PVD kaplamalar uygulamak için tasarlanmış endüstriyel çoklu ark iyon kaplama ekipmanı. Yüksek-akım, düşük-voltajlı vakumlu ark deşarjını kullanan sistem, katı hedef malzemeleri (Ti, Cr, Al, Zr) doğrudan buharlaştırır. Reaktif gazlarla (N2, O2, C2H2) birleştirildiğinde yoğun geçiş metali nitrürlerini, karbürlerini ve oksitlerini doğrudan metalik yüzeyler üzerinde sentezler.
Modüler bir vakum odası mimarisi üzerine inşa edilen bu anahtar teslimi PVD çözümü, Ar-Ge toplu işlemesinden otomatik-yüksek verimli hat içi üretime kadar çeşitli üretim ölçeklerini barındırır. Sistem, 7/24 kesintisiz endüstriyel ortamlarda yüksek hedef kullanımı ve düşük Toplam Sahip Olma Maliyeti (TCO) için optimize edilmiştir.
-
![Çok-Arklı Vakumlu Biriktirme Ekipmanı]()
Çok-Arklı Vakumlu Biriktirme EkipmanıBu çok-arklı vakum biriktirme sistemi, metalik ve-metalik olmayan alt tabakalar üzerine yoğun, yüksek-yapışkan sert kaplamalar biriktirmek için katodik ark iyon kaplama teknolojisini kullanır....daha fazla -
![Çoklu-Ark İyon Biriktirme Sistemi]()
Çoklu-Ark İyon Biriktirme SistemiThe Multi-Arc Ion Deposition System performs industrial-scale cathodic arc evaporation for hard, wear-resistant, and low-friction thin films. The process achieves >Katı katot malzemesinin %80...daha fazla -
![Çoklu-Ark PVD İnce Film Ekipmanı]()
Çoklu-Ark PVD İnce Film EkipmanıEndüstriyel Çoklu-Ark PVD Sistemi, metalik alt tabakalar üzerine yoğun, stokiyometrik sert kaplamalar (TiN, TiAlN, CrN ve DLC gibi) biriktirmek için yüksek-iyonizasyonlu katodik ark fiziksel buhar...daha fazla -
![Çoklu-Ark İyon Biriktirme Ekipmanı]()
Çoklu-Ark İyon Biriktirme EkipmanıEndüstriyel Çoklu-Ark İyon Biriktirme Sistemi, yüksek-akım, düşük-voltajlı katodik ark buharlaştırma yoluyla yoğun, yüksek-yapışkan ince filmler üretir. Katı hedef malzemeler (katotlar),...daha fazla -
![Çoklu-Ark İyon İnce Film Sistemi]()
Çoklu-Ark İyon İnce Film SistemiEndüstriyel Çoklu-Ark İyonlu İnce Film Sistemi, metal ve alaşımlı alt tabakalar üzerine yoğun, yüksek-yapışkanlığa sahip seramik ve metalik kaplamalar biriktirmek için katodik ark buharlaştırmayı...daha fazla -
![Çoklu-Ark İyon İnce Film Ekipmanı]()
Çoklu-Ark İyon İnce Film EkipmanıBu çok-arklı iyon kaplama sistemi, yoğun, yüksek-yapışkan sert kaplamalar ve işlevsel ince filmler biriktirmek için katodik ark buharlaştırmayı kullanır. Katı katot hedeflerine yüksek-akım,...daha fazla
Teknik Özellikler
|
Parametre |
Şartname Aralığı |
Birim / Not |
|
Hazne Boyutları |
Ф600 x 600 ila Ф1500 x 1800 |
mm (Özel dikey veya yatay konfigürasyonlar) |
|
Üstün Vakum Basıncı |
<= 5.0 x 10^-4 |
Pa (Kuru pompa + Turbo-moleküler / Yağ difüzyon seti) |
|
Katot Ark Kaynakları |
4 ila 16 ünite |
Elektromanyetik yönlendirilmiş veya filtrelenmiş ark kaynakları (FCA) |
|
Substrat Eğilim Gücü |
0 ila -1000 |
V (Gelişmiş Darbeli DC / MF öngerilim yetenekleri) |
|
Isıtma Sıcaklığı |
Oda Sıcaklığı 600'e kadar |
C (PID kontrollü radyant ısıtıcılar) |
|
Biriktirme Tekdüzeliği |
<= +/- 5% |
Etkin çalışma bölgesi boyunca XRF aracılığıyla ölçülmüştür |
|
Kontrol Sistemi |
PLC + Endüstriyel PC |
Otomatik tarif yürütme, SCADA veri kaydı |
|
Güvenlik ve Uyumluluk |
CE, ISO 9001 |
Talep üzerine UL-uyumlu elektrik muhafazaları mevcuttur |
Fiziksel buhar biriktirme dizisi, toplu-toplu{-toplu gruplara tekrarlanabilirliği sağlamak için sıkı, kapalı-döngü otomatikleştirilmiş bir iş akışı üzerinde çalışır:
Tahliye ve Gazın Çıkarılması:
Vakum odası taban basıncına kadar pompalanır.<= 5.0 x 10^-3 Pa, while substrate temperatures are ramped to eliminate surface volatiles.
Plazma Dağlama (Bombardıman):
Argon gazı verilir. Substrat tutucuya yüksek bir negatif öngerilim uygulanarak, doğal oksitleri ve mikro-kirleticileri uzaklaştırmak için yüzeyi bombardıman eden Ar iyonları üretilir.
Ark Buharlaşması ve İyonizasyonu:
DC ark akımı katı metalik katoda çarpar. Yerel katot noktası, hedef malzemeyi anında yüksek-yoğunluklu bir plazma akışına (iyonlaşma oranı > %80) buharlaştırarak aşırı enerji yoğunluğuna ulaşır.
Reaktif Biriktirme:
Reaktif gazlar, Kütle Akış Kontrolörleri (MFC'ler) aracılığıyla hassas bir şekilde kontrol edilen kısmi basınçlarda plazma akışına enjekte edilerek dönen alt tabakalar üzerinde stokiyometrik bileşik filmler oluşturulur.
Soğutma ve Havalandırma:
Kontrollü soğutma, bölmenin havalandırılmasından önce inert gaz koruması altında gerçekleşir ve yeni kaplanmış parçaların oksidasyonu önlenir.
Film Malzemeleri ve Kaplama Özellikleri
Sistem çoklu-metal katot düzenlemelerini destekleyerek tek katmanlı, çok katmanlı, nano-kompozit ve degrade film mimarilerine olanak sağlar:
TiN (Titanyum Nitrür):
Standart altın kaplama; sertlik 2200–2400 HV; sürtünme katsayısı 0,4. Birincil kullanım: genel kesici takımlar ve mekanik aşınma parçaları.
TiAlN (Titanyum Alüminyum Nitrür):
850 C'ye kadar yüksek-sıcaklık oksidasyon direnci; sertlik 3000–3300 HV. Birincil kullanım: yüksek-hızlı kuru işleme uçları ve motor valfleri.
CrN / CrAlN (Krom Nitrür):
Mükemmel korozyon direnci ve düşük iç gerilim; demir dışı metallere karşı-tutmayı önleyici özellikler. Birincil kullanım: kalıpların, piston segmanlarının ve tekstil makine bileşenlerinin oluşturulması.
ZrN / TiCN:
Düşük yüzey pürüzlülüğü (Ra<= 0.05 um); decorative stability and biocompatibility. Primary use: medical surgical instruments and premium sanitary hardware.
Uygulamalar
Hassas Kesme Aletleri:
Yüksek termal yükler altında daha uzun takım ömrü gerektiren parmak frezeler, matkaplar, frezeler ve değiştirilebilir kesici uçlar.
01
Otomotiv Güç Aktarma Organı:
Daha az sınır sürtünmesi ve sürtünme direnci gerektiren piston pimleri, iticiler, yakıt enjeksiyon bileşenleri ve dişli yüzeyleri.
02
Kalıplar ve Kalıplar:
Yapışkan aşınmaya ve termal yorulmaya karşı direnç gerektiren plastik enjeksiyon kalıpları, damgalama kalıpları ve basınçlı döküm uçları.
03
Havacılık Bileşenleri:
Agresif, aşındırıcı ve yüksek{0}}stresli ortamlarda çalışan türbin kanatları ve titanyum bağlantı elemanları.
04
Özelleştirme ve Sistem Yapılandırması
Standart katalog öğeleri, özel fabrika düzenlerine nadiren mükemmel şekilde uyar. Ekipman konfigürasyonları, belirli bileşen geometrisine, çevrim süresi hedeflerine ve tesis kısıtlamalarına göre uyarlanır:
Oda Geometrisi:
Çift-duvarlı su-soğutma ceketlerine sahip sekizgen veya silindirik paslanmaz çelik hazneler (SUS304/SUS316L).
Kaynak Düzeni:
Side-mounted or bottom-driven arc sources with magnetic steering coils to minimize macroparticle generation and ensure high cathode utilization (>60%).
Yüzey Fikstürü:
Karmaşık 3D geometrilerde eşit kaplama kapsamını garanti etmek için manyetik sıvı beslemeleri tarafından tahrik edilen gezegensel dönüş (3-eksen) veya tek dönüş mekanizmaları.
Pompalama Yığını Seçenekleri:
Kök üfleyiciler, döner kanatlı pompalar, kriyojenik pompalar veya katı pompalama-döngüsü sürelerini karşılayacak şekilde yapılandırılmış turbomoleküler pompalar.
Kalite Kontrol ve Test Protokolleri
Her makine, gönderilmeden önce alıcının incelemesi için belgelenen sıkı Fabrika Kabul Testine (FAT) tabi tutulur:
01
Vakum Bütünlüğü Testi:
Kütle spektrometresi kullanılarak helyum sızıntısı tespiti (kaçak oranı<= 1 x 10^-10 Pa*m3/s).
02
Elektrik Güvenliği ve Yanma-:
Güç kaynaklarının, su soğutma kilitlerinin ve PLC otomasyon mantığının 72 saatlik sürekli kuru çalışması.
03
Kaplama Doğrulaması ({0}Şirket İçi Laboratuar):
Örnek çalışmalar Calo-testi (film kalınlığı), Rockwell girintisi (yapışma kuvveti) ve nanoindentasyon (sertlik) yoluyla test edilmiştir.
Kurulum, Devreye Alma ve Teknik Destek
Site Hazırlama Yönergeleri:
Soğutma suyu akışı/basıncı, basınçlı hava, egzoz havalandırması ve elektrik barası gereksinimleri için ayrıntılı tesisat yerleşim çizimleri sağlanmıştır.
SAT ve Devreye Alma:
Kıdemli PVD süreç mühendisleri tarafından -yerinde kurulum (Saha Kabul Testi), vakum kalibrasyonu ve temel tarif aktarımı.
Süreç Eğitimi:
Katot değiştirme programları, önleyici vakum bakımı, sorun giderme ve temel tarif optimizasyonunu kapsayan uygulamalı operatör eğitimi{0}.
Yedek Parça Desteği:
Kritik aşınma bileşenleri (katotlar, kalkanlar, yalıtkanlar ve contalar) 48 saat içinde dünya çapında gönderilmek üzere stoklanır.
Sıkça Sorulan Sorular
Çin'deki-önde gelen çok-arklı iyon ince film ekipmanı üreticilerinden ve tedarikçilerinden biri olarak tanınıyoruz. Çin'de üretilen özelleştirilmiş çok-arklı iyon ince film ekipmanı satın alacaksanız fabrikamızdan fiyat listesi almaya hoş geldiniz. Fiyat danışmanlığı için bizimle iletişime geçin.
