Çoklu-Ark İyon Biriktirme Ekipmanı

Endüstriyel Çoklu-Ark İyon Biriktirme Sistemi, yüksek-akım, düşük-voltajlı katodik ark buharlaştırma yoluyla yoğun, yüksek-yapışkan ince filmler üretir. Katı hedef malzemeler (katotlar), stokiyometrik bileşik kaplamaları sentezlemek için reaktif bir gaz atmosferinde (N2, O2 veya C2H2 gibi) buharlaştırılır. %80'i aşan yüksek iyonizasyon oranları için tasarlanan bu ekipman, aşırı mekanik yük ortamlarına uygun, filmden alt tabakaya olağanüstü bağlanma gücü sağlar.

Manyetik Filtreli Ark Teknolojisi:Entegre manyetik bobinler, makro-parçacıkları ve damlacıkları alt tabaka akışından saptırarak hassas optikler ve kesme aletleri için ultra-pürüzsüz damlacık-serbest yüzeyler üretir.

Kapalı-Döngü Gaz Akışı Kontrolü:MKS kütle akış kontrolörleri, reaktif biriktirme aşamaları sırasında reaktif gaz kısmi basıncını +/- 0.1 sccm stabilite eşikleri dahilinde düzenler.

Yüzey Sıcaklığı Yönetimi:Programlanabilir radyant ısıtıcı kümeleri, arka taraftaki argon gazı soğutmasıyla birlikte alt tabaka termal bütçelerini 150°C ile 600°C arasında tutar.

Otomatik Süreç Tarifleri:İyon temizleme, degrade ara katman aşındırma ve terminal fonksiyonel kaplamaya kadar çok-adımlı biriktirme protokollerini yürüten PLC-tabanlı kontrol mimarisi.

Kaba Pompa:Roots üfleyici ve döner kanatlı mekanik pompa kombinasyonu (Leybold / Edwards temel çizgisi).

Yüksek Vakum Pompası:High-throughput diffusion pumps or magnetically suspended turbomolecular pumps (>= 3200 L/s).

Değerleme ve Borulama:Pnömatik paslanmaz-çelik vakum sürgülü vanalar, pnömatik açılı vanalar ve elastomer-mühürlü KF/ISO flanşlarının sızıntısı-helyum kütle spektrometresi (<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).

Basınç İzleme:Atmosferden ultra-yüksek vakum aralıklarına kadar gerçek-zamanlı geri bildirim sağlayan birleşik Pirani ve Soğuk Katot iyonizasyon göstergeleri.

Hedef Malzemeler:Titanium (Ti), Chromium (Cr), Aluminum-Titanium (AlTi), Zirconium (Zr), Copper (Cu), Stainless Steel, and custom alloy targets (purity >= 99.95%).

Yüzey Malzemeleri:

• Semente Karbürler (WC-Co)
• Yüksek-Hız Çelikleri (HSS)
• Alaşımlı Çelikler (SKD11, 316L, 4140)
• Titanyum Alaşımları (Ti-6Al-4V)
• Mühendislik Seramikleri ve Isıya-Dirençli Süper Alaşımlar

Kesme ve Şekillendirme Aletleri:Yüzey sertliğini 3200 HV'ye çıkarmak ve aşındırıcı aşınmaya karşı direnç sağlamak için parmak frezeler, kesici uçlar, frezeler ve damgalama kalıpları üzerinde TiAlN, AlCrN ve TiCN kaplamaların biriktirilmesi.

Otomotiv Bileşenleri:Kuru çalışma koşullarında sürtünme katsayılarını 0,1'in altına düşürmek için piston segmanlarında, yakıt enjeksiyon pimlerinde ve eksantrik millerinde sert karbon (DLC) ve CrN birikmesi.

Tıbbi İmplantlar:Kobalt-krom ve titanyum diz ve kalça eklemleri üzerinde TiN ve ZrN biyouyumlu difüzyon kaplamalar, metal iyon sızıntısını ve aşınma kalıntısı oluşumunu en aza indirir.

Havacılık ve Uzay Donanımı:Yüksek termal eşiklerde çalışan türbin kanatları ve bağlantı elemanı düzenekleri için oksidasyona- dayanıklı bariyer kaplamalar.

Oda Geometrisi:Dikey çukur-tipi, yatay önden-yükleme veya mevcut mağaza katı düzenlerine göre uyarlanmış çift-kapı geçişli-yapılandırmalar.

Kaynak Entegrasyonu:Katodik ark kaynaklarını dengesiz magnetron püskürtme (Ums) katotlarıyla tek bir bölmede birleştiren hibrit konfigürasyonlar.

Jigging ve Fikstürler:Belirli bileşen geometrileri (örneğin, uzun ekstrüzyon kalıpları veya karmaşık cerrahi vidalar) için CAD/FEM simülasyonu yoluyla tasarlanmış özel gezegensel veya çift{0}dönmeli takımlama fikstürleri.

Kalite Yönetim Standartları:ISO 9001:2015 kalite yönetimi ve ISO 14001 çevre yönetim sistemleri kapsamında tasarlanmış, üretilmiş ve test edilmiştir.

Havacılık ve Medikal İzlenebilirlik:Talep üzerine NADCAP AC7102 (Isıl İşlem/Yüzey Geliştirme) gereklilikleriyle tamamen uyumlu proses kontrolleri ve dokümantasyon protokolleri.

Sızıntı Bütünlüğü:Her vakum kabı, montaj onayından önce-helyum kütle spektrometresi sızıntı testine tabi tutulur.

Elektrik Güvenliği:CE/IEC standartlarına uygun-yüksek gerilim izolasyon direnci testi ve topraklama sürekliliği kontrolleri.

Testi-çalıştır:Mekanik rotasyon sürücülerinin, su soğutma akış anahtarlarının ve PLC kilitleme sistemlerinin 72-saatlik sürekli kuru-çalışma dayanıklılık testi.

Dokümantasyon Teslimatları:Malzeme değirmeni test sertifikaları (MTC), vakum sızıntısı testi sertifikaları, elektrik şeması paketleri ve NIST-izlenebilir sensör kalibrasyon raporları.

Site Hazırlama Yönergeleri:Comprehensive utility layout documentation covering cooling water flow rates (>= 30 m^3/h), ortam sıcaklığı aralıkları, egzoz havalandırması ve elektrik gücü kesintileri (3 fazlı, 380V/480V, 50/60Hz).

Devreye Alma Hizmetleri:-Sahada mekanik konumlandırma, vakum borularının entegrasyonu, elektrik bağlantısı ve yerleşik kıdemli saha servis mühendisleri tarafından yürütülen temel tarif optimizasyonu.

Operatör Eğitimi:Belirli film yapıları için rutin bakım, vakum sorunlarını giderme, hedef değiştirme protokolleri ve parametre ayarlama konularını ele alan 5-günlük yoğun yerinde eğitim.

Yedek Parça Envanteri:Kritik aşınma bileşenleri (katot izolatörleri, karanlık alan kalkanları, dinamik contalar ve filaman dizileri) 48 saat içinde gönderilmek üzere bölgesel olarak stoklanır.