Bu çok-arklı iyon kaplama sistemi, yoğun, yüksek-yapışkan sert kaplamalar ve işlevsel ince filmler biriktirmek için katodik ark buharlaştırmayı kullanır. Katı katot hedeflerine yüksek-akım, düşük-voltajlı bir ark çarparak, malzeme yüksek-vakumlu bir ortamda anında buharlaştırılır ve iyonize edilir. Reaktif gazlarla (N2, O2 veya C2H2) bir araya getirilen sistem, doğrudan metalik veya metalik olmayan alt tabakalar üzerinde stokiyometrik bileşik kaplamaları sentezler. Sürekli endüstriyel üretim için tasarlanan mimari, kararlı ark yayılımı, hassas stokiyometri kontrolü ve tekrarlanabilir toplu{13}}toplu filme-performans sağlar.
Teknik Özellikler
|
Parametre |
Spesifikasyon Aralığı / Değeri |
|
Hazne Boyutları |
Phi 800 mm'den Phi 2000 mm'ye kadar özel çaplar (Dikey veya Yatay düzen) |
|
Üstün Vakum Basıncı |
<= 5.0 x 10^-3 Pa (via Roots & Molecular/Diffusion pump combination) |
|
Pompa-Kapalı Kalma Süresi |
6,0 x 10^-2 Pa'ya kadar atmosfer basıncı<= 15 minutes (empty, clean, dry chamber) |
|
Katot Ark Kaynakları |
4 ila 16 dikdörtgen veya dairesel filtreli/filtresiz ark kaynağı |
|
Önyargı Güç Kaynağı |
Darbe Önyargı Gücü (0 ila -1000 V ayarlanabilir, frekans 10 ila 100 kHz) |
|
Substrat Dönüşü |
Değişken hızlı tahrikli ve bağımsız ısıtmalı planet dönüş mekanizması |
|
Isıtma Sistemi |
Paslanmaz çelik radyant ısıtıcı dizisi; maksimum sıcaklık 600 derece C (+/- 5 derece C eşitliği) |
|
Kontrol Sistemi |
PLC + Endüstriyel PC; manuel geçersiz kılma ile otomatik tarif yürütme |
|
Bağlı Yük |
80 kW ila 250 kW (oda hacmine ve kaynak sayısına bağlı olarak) |
Temel Özellikler
Filtrelenmiş Katot Ark Teknolojisi:Yüzey kusurlarını ortadan kaldırmak için manyetik alan yönlendirmesi ve makro-partikül (damlacık) filtreleme kanalları ile donatılmış olup, hassas bileşenler için ultra-pürüzsüz yüzeyler sağlar.
Kapalı-Döngü Reaktif Gaz Kontrolü:Toplam basınca ve optik emisyon geri bildirimine bağlı Kütle Akışı Kontrolörleri (MFC'ler), reaktif bileşik sentezi sırasında sabit kısmi basınçları korur.
Çok-Eksenli Gezegensel Fikstür Tahrik:Bağımsız dönüş ve dönüş eksenleri, karmaşık üç- boyutlu geometriler boyunca eşit iyon bombardımanı ve kaplama kalınlığı dağılımı sağlar.
Modüler Vakum Tesisatı:ISO-standart elektro-parlatılmış paslanmaz çelik manifoldlar gaz çıkışını en aza indirir ve rutin bakım aralıklarını basitleştirir.
Toplu Veri İzlenebilirliği:Kapsamlı kalite denetimi için hazne basıncının, alt tabaka ön geriliminin, ark akımının ve gaz akış hızlarının otomatik olarak kaydedilmesi.
Vakum Sistemi Konfigürasyonu
Vakum alt-sistemi, hızlı döngü ve süreç yan ürünlerinin sağlam şekilde işlenmesi için tasarlanmıştır:
Kaba İşleme Aşaması:Yağsız kaba vakum üretimi için Roots üfleyicilerle eşleştirilmiş döner kanatlı pompalar veya kuru vidalı pompalar-.
Yüksek Vakum Aşaması:Sıvı nitrojen soğuk tuzaklı difüzyon pompaları veya yüksek-verimli Turbo-Moleküler Pompalar (TMP), temiz oda gereksinimlerine ve döngü süresi hedeflerine göre seçilir.
Valfler ve Ölçme:Pnömatik sürgülü vanalar ve-yüksek güvenilirliğe sahip izolasyon vanaları. Kilitli güvenlik PLC'sine entegre edilmiş Pirani ve Sıcak Katot İyonizasyon göstergelerini kullanan tam-aralıklı vakum ölçümü.
Buharlaşma Malzemeleri ve Yüzey Uyumluluğu
Buharlaşma Katotları
Saf Metaller:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, TiAl alaşımları, paslanmaz çelik.
Alaşımlar / Bileşikler:Özel sertlik, sürtünme katsayıları ve oksidasyon direnci için formüle edilmiş özel sinterlenmiş hedefler.
Yüzey Malzemeleri
Takım Çelikleri:Yüksek-hız çeliği (HSS), tungsten karbür uçlar, soğuk/sıcak iş kalıp çelikleri.
Mühendislik Metalleri:Titanyum alaşımları, yapısal paslanmaz çelik, alüminyum (uygun ön-işlem kullanılarak).
Teknik Seramikler:İletken arayüz hazırlığı gerektiren seçilmiş endüstriyel seramikler.
Uygulamalar ve Özel Kullanım Durumları
Kesme ve Şekillendirme Aletleri
Kaplama Çeşitleri:TiN, TiAlN, AlTiN, CrN.
Performans Etkisi:Yüzey sertliğini önemli ölçüde artırır (3000+ HV'ye kadar), sürtünme katsayılarını düşürür ve termal oksidasyona karşı direnç gösterir. Yüksek-hızlı işleme koşullarında matkapların, parmak frezelerin, azdırma frezelerin ve damgalama kalıplarının çalışma ömrünü uzattığı kanıtlanmıştır.
Otomotiv Bileşenleri
Uygulamalar:Aşınmaya ve korozyona karşı dayanıklılık gerektiren piston segmanları, iticiler, yakıt enjeksiyon parçaları ve dekoratif veya işlevsel dış kaplama donanımı.
Tıbbi Aletler
Uygulamalar:Yüzey pasivasyonunu ve aşınma dayanıklılığını artırmak için cerrahi neşterler, kemik vidaları ve diş implantları üzerinde biyouyumlu TiN ve TiCN kaplamalar.
Özelleştirme
Sistemler belirli üretim ayak izlerine ve süreç parametrelerine uyacak şekilde tasarlanmıştır:
Hazne Boyutlandırması:Maksimum parti boyutlarına ve fikstür ağırlıklarına göre uyarlanmış özel iç çaplar ve yükseklikler.
Kaynak Yapılandırması:Çok katmanlı ve nanokompozit mimariler için ark kaynaklarının ve düzlemsel magnetron püskürtme katotlarının hibrit kombinasyonları.
Otomasyon Seviyesi:Yarı{0}}otomatik bağımsız hücreler veya robotik yükleme sistemleriyle uyumlu tamamen entegre üretim hatları.
Kalite Kontrol
Helyum Sızıntı Testi:Her vakum odası, fabrika çıkışından önce sıkı kütle spektrometresi sızıntı testine tabi tutulur (sızıntı oranı<= 1.0 x 10^-9 Pa*m^3/s).
Elektrik Güvenliği:Tamamen kilitli güvenlik devrelerine sahip, CE/UL uyumluluk standartlarına göre üretilmiş kontrol kabinleri.
Fabrika Kabul Testi (FAT):-Sevkiyat öncesi test çalışmaları, 24 saatlik sürekli bir döngü boyunca nihai basıncı, ısıtıcı sıcaklığı tekdüzeliğini ve sürekli ark tutuşma stabilitesini doğrular.
Kurulum ve Teknik Destek
Site Hazırlama Yönergeleri:Soğutma suyu akış hızı/basıncı, basınçlı hava, egzoz havalandırması ve güç kesintilerini kapsayan kapsamlı tesisat yerleşimi belgeleri.
-Sitede Hizmete Alma:Yapısal hizalama, vakum sızıntısının doğrulanması, elektrik bağlantısı ve temel tarifin devri için deneyimli süreç ve makine mühendisleri gönderildi.
Operatör Eğitimi:Rutin bakım, katot hedef değişimi ve PLC sorun giderme konularını kapsayan uygulamalı eğitim.
Uzaktan Teşhis:Gerçek-zamanlı yazılım güncellemeleri, parametre analizi ve hızlı-yanlış hata teşhisi için güvenli VPN modülü entegrasyonu.
SSS
S: Çoklu-arklı iyon kaplamanın geleneksel magnetron püskürtmeyle karşılaştırıldığında birincil avantajı nedir?
C: Katot ark buharlaşması, buharlaşan malzemenin yüksek bir iyonizasyon oranını (tipik olarak %30 ila %80) sağlar, bu da olağanüstü film yapışması ve yüksek biriktirme oranlarıyla sonuçlanır. Kalın, sert seramik, aşınmaya-dirençli kaplamalar için idealdir.
S: Ark buharlaşmasının doğasında olan makro-partikül (damlacık) sorununu nasıl kontrol edersiniz?
C: Ark noktasını hedef yüzey boyunca hızlı bir şekilde hareket ettirmek için optimize edilmiş manyetik alan yönlendirmesini kullanıyoruz ve makro-parçacıkları yakalarken iyonize buharı manyetik olarak saptıran isteğe bağlı Filtrelenmiş Katot Ark (FCA) yönlendirme kanallarıyla birlikte kullanıyoruz.
S: Bu ekipmanı kurmak için tesis gereksinimleri nelerdir?
A: Requirements typically include a stable 3-phase power supply, a closed-loop chilled water system (~0.2 to 0.3 MPa, 15 to 20 deg C), compressed air (>= 0.6 MPa) pnömatik valfler için ve proses egzozu için havalandırma. Sipariş onayı üzerine özel yardımcı çizim paketleri sağlanır.
S: Bu sistem otomatik çok-katmanlı veya degrade kaplamaları çalıştırabilir mi?
C: Evet. PLC ve tarif yönetimi yazılımı, karmaşık çok-katmanlı mimarileri veya gradyan geçiş katmanlarını biriktirmek için gaz akışlarının, öngerilim voltajlarının ve çok-katot dönüş zamanlamasının otomatik olarak sıralanmasına olanak tanır.
Popüler Etiketler: çoklu-ark iyon ince film ekipmanı, Çin çoklu-ark iyon ince film ekipmanı üreticileri, tedarikçiler, fabrika
