Ürüne Genel Bakış
IAE-Serisi İyon-Yardımlı Buharlaşma İnce Film Ekipmanı, fiziksel buhar biriktirmeyi (PVD) gerçek-zamanlı iyon ışın bombardımanıyla bütünleştirir. Sistem, termal veya elektron- ışın buharlaşması sırasında enerjik iyonları alt katmana yönlendirerek, momentumu yoğunlaşan adatomlara aktararak büyüyen filmin mikro yapısını yeniden yapılandırır.
Bu kinetik enerji aktarımı sütunlu boşlukları ortadan kaldırır, nem emilimini baskılar ve kırılma indisini ortamdaki nem değişimlerine karşı kilitler. Optik ve yarı iletken üretim hatlarında sürekli çoklu-vardiyalı çalışma için tasarlanan platform, yüksek-hassas lazer optiklerden silikon levhalara kadar çeşitli alt tabakaları işler.
-
![İyon-Destekli Vakumlu Buharlaştırma Ekipmanı]()
İyon-Destekli Vakumlu Buharlaştırma Ekipmanıİyon-Destekli Vakumlu Buharlaştırma Sistemi, yüksek-vakumlu termal veya elektron- ışınlı buharlaşma kaynaklarını Kaufman-tipi veya Uç-Hall iyon kaynağıyla entegre eder. Fiziksel buhar biriktirme...daha fazla -
![İyon-Yardımlı İnce Film Biriktirme Sistemi]()
İyon-Yardımlı İnce Film Biriktirme Sistemiİyon-Yardımlı İnce Film Biriktirme Sistemi, çok-cepli elektron-ışını/termal buharlaştırmayı yüksek-performanslı bir Son-Hall veya Kaufman-tipi iyon kaynağıyla entegre eder. Fiziksel buhar...daha fazla -
![İyon Işını Destekli Buharlaştırma Ekipmanı]()
İyon Işını Destekli Buharlaştırma EkipmanıIBAE sistemi, elektron-ışını veya termal buharlaştırmayı entegre bir geniş- ışın iyon kaynağıyla birleştirir. Film büyümesi sırasında eşzamanlı iyon bombardımanı, kinetik enerjiyi yoğunlaşan...daha fazla -
![İyon-Yardımlı İnce Film Biriktirme Ekipmanı]()
İyon-Yardımlı İnce Film Biriktirme EkipmanıIA-Serisi İyon-Yardımlı İnce Film Biriktirme Ekipmanı, elektron-ışını termal buharlaştırmasını bir Kaufman veya Uç-Hall iyon kaynağıyla entegre eder. Biriktirme sırasındaki enerjik iyon...daha fazla -
![İyon-Destekli Buharlaşma İnce Film Sistemi]()
İyon-Destekli Buharlaşma İnce Film Sistemiİyon-Destekli Buharlaşma (IAE) İnce Film Sistemi, fiziksel buhar biriktirmeyi (PVD) enerjik iyon ışın bombardımanıyla birleştirir. Termal veya elektron-ışını buharlaştırması sırasında, yardımcı...daha fazla -
![İyon-Destekli Buharlaştırma İnce Film Ekipmanı]()
İyon-Destekli Buharlaştırma İnce Film EkipmanıÇoklu-cep elektron- ışınlı buharlaşmayı enerjik bir iyon ışın kaynağıyla (End-Hall veya Kaufman konfigürasyonu) entegre eden endüstriyel-sınıf İyon-Yardımlı Buharlaşma (IAE) sistemi. Gerçek...daha fazla
Teknik Özellikler
|
Parametre |
Şartname |
|
Nihai Taban Basıncı |
< 5.0 × 10⁻⁵ Pa (achieved within 45 mins via cryogenic/turbomolecular pumping) |
|
Buharlaşma Kaynakları |
Çok-cepli E-ışın tabancası (4 × 15cc ila 40cc) ve dirençli termal kaynaklar |
|
İyon Kaynağı Türü |
Izgarasız Uç-Hall / Kaufman-tipi iyon kaynağı (ışın voltajı: 50 – 1500 V, iyon akımı: 0,1 – 3 A) |
|
Film Kalınlığı Kontrolü |
Kuvars kristal mikro terazi (QCM) + Optik izleme sistemi (OMS), hassasiyet ± 0,1 nm |
|
Yüzey Fikstürü |
Gezegensel dönüş fikstürü, alt tabaka geometrisine göre özelleştirilmiş kubbe yarıçapı |
|
Yüzey Isıtma |
Radyant ısıtıcı dizisi, ± 2 derece PID bütünlüğü ile 350 dereceye kadar |
|
Kontrol Mimarisi |
PLC + Endüstriyel PC, otomatik tarif yürütme, SECS/GEM uyumlu veri kaydı |
İyon-Destekli Biriktirme Süreci
Buhar Üretimi:
Malzeme, kontrollü biriktirme hızlarında (0,1 – 2,0 nm/s) e-ışın potasından veya termal tekneden buharlaştırılır.
01
Momentum Transferi:
Enerjik iyonlar (Ar⁺, O⁺), E- ışınından veya termal kaynaktan gelen buhar akışıyla eş zamanlı olarak alt tabaka yüzeyini bombardıman eder.
02
Mikroyapı Değişikliği:
İyon etkisi, adatom yüzeyinin hareketliliğini artırır, sütunlu tane büyümesini önler ve neredeyse yığın yoğunluğuna (paketleme yoğunluğu > %99) ulaşır.
03
Stokiyometri Düzeltmesi:
Reaktif iyon yardımı (O₂), metal oksit filmlerindeki (örneğin Ta₂O₅, Nb₂O₅, SiO₂) alt-oksitlerin tamamen oksidasyonunu sağlayarak UV-NIR spektrumundaki absorpsiyon bantlarını ortadan kaldırır.
04
Film Malzemeleri
Oksitler:
SiO₂, Ta₂O₅, TiO₂, Nb₂O₅, HfO₂ (Optik filtreler için yüksek kırılma indeksi stabilitesi).
Florürler:
MgF₂, LaF₃ (Geniş bant AR kaplamalar için düşük kırılma indeksli katmanlar).
Metaller:
Al, Ag, Au, Ti (Yapışma katmanları ve metalik reflektörler).
Uygulamalar
Lazer ve Hassas Optikler:
Yüksek lazer-indüklü hasar eşiği (LIDT) ve termal stres altında sıfır spektral kayma gerektiren bant geçiren filtreler, dikroik aynalar ve lazer koruyucu kaplamalar.
LiDAR Kapak Camı:
Dış mekandaki zorlu hava koşullarına dayanıklı, dayanıklı-yansımayı önleyici (AR) ve kirlenmeyi-önleyen ince filmler.
Yarı İletken Ambalaj:
Düşük alt tabaka sıcaklıklarında biriktirilen nem-bariyeri kapsülleme katmanları ve metal temas pedleri.
Biyomedikal Sensörler:
Tanısal mikroakışkan çipler için biyouyumlu optik girişim kaplamaları.
Özelleştirme
Odalar ve iç yerleşimler, belirli üretim alanlarına ve süreç gereksinimlerine göre tasarlanmıştır:
Hazne Boyutları:
R=600 mm Ar-Ge birimlerinden R=1200 mm yüksek- kapasiteli üretim sistemlerine kadar ölçeklenebilir.
Pompalama Paketleri:
Gaz yükü gereksinimlerine göre Maglev turbomoleküler pompalar, kriyo pompalar ve Roots üfleyici destek hatları ile yapılandırılabilir.
Kaynak Entegrasyonu:
Karmaşık alaşım ve çok-katmanlı gradyan filmler için çift-iyon kaynağı yapılandırmaları veya ortak biriktirme kurulumları.
Otomasyon Seviyesi:
Otomatik temiz oda substrat transfer sistemleriyle entegrasyon (EFEM / Vakum kümesi araçları).
Kalite Kontrol
Sızıntı Tespiti:
Her vakum odası, bir kütle spektrometresi kullanılarak-helyum sızıntısı testine tabi tutulur (sızıntı oranı < 1,0 × 10⁻¹⁰ Pa·m³/s).
Bileşen İzlenebilirliği:
Nitelikli Tier-1 endüstriyel markalardan (MKS, Inficon, VAT) temin edilen vakum valfleri, kütle akış kontrolörleri (MFC'ler) ve güç kaynakları.
Fabrika Kabul Testi (FAT):
Sevkiyattan önce temel basıncı, pompalama eğrisini, kaynak stabilitesini ve 24-saatlik sürekli boş hazne dayanıklılığını doğrulayan-testleri çalıştırın.
Metroloji Doğrulaması:
Spektrofotometre (geçirgenlik/yansıma) ve atomik kuvvet mikroskobu (yüzey pürüzlülüğü Ra < 0,5 nm) aracılığıyla doğrulanan numune çalışmaları.
Kurulum ve Teknik Destek
Site Hazırlama Kılavuzu:
Teslimattan önce sağlanan kapsamlı hizmet gereksinimleri (soğutma suyu akışı/basıncı, temiz oda basınçlı hava, güç dağıtımı, egzoz havalandırması).
Anahtar Teslimi Devreye Alma:
Saha servis mühendisleri, mekanik montajı, vakumla pişirmeyi-, iyon ışını kalibrasyonunu ve ilk işlem tarifi imzalamayı-sahada- gerçekleştirir.
Operatör Eğitimi:
Rutin bakım, elektrikli süpürge güvenliği, yazılımın çalıştırılması ve sorun giderme konularını kapsayan,{0}}yapılandırılmış uygulamalı eğitim.
Yaşam Döngüsü Desteği:
Hızlı yazılım sorun giderme için uzaktan teşhis arayüzü; Kritik aşınma malzemelerinin (filamentler, potalar, kalkanlar) bölgesel stoğu 48 saat içinde gönderilir.
SSS
Çin'deki-önde gelen iyon destekli buharlaştırma ince film ekipmanı üreticilerinden ve tedarikçilerinden biri olarak tanınıyoruz. Çin'de üretilen özelleştirilmiş iyon-destekli buharlaştırma ince film ekipmanı satın alacaksanız fabrikamızdan fiyat listesi almaya hoş geldiniz. Fiyat danışmanlığı için bizimle iletişime geçin.
