Çoklu-Ark PVD İnce Film Ekipmanı

Endüstriyel Çoklu-Ark PVD Sistemi, metalik alt tabakalar üzerine yoğun, stokiyometrik sert kaplamalar (TiN, TiAlN, CrN ve DLC gibi) biriktirmek için yüksek-iyonizasyonlu katodik ark fiziksel buhar biriktirme özelliğini kullanır. Yüksek hacimli fason kaplama merkezleri ve bağlı üretim hatları için tasarlanan bu sistem, hassas bileşenler için aşınma direncini, sürtünmeyi azaltmayı ve termal kararlılığı optimize eder.

Filtrelenmiş Katodik Ark Kaynakları:Manyetik filtreleme, makropartikül (damlacık) oluşumunu en aza indirerek daha pürüzsüz yüzey kalitesi sağlar (Ra < 0,1 um).

Kapalı-Alan Dengesiz Magnetron Yapılandırması: Enhances substrate-zone plasma density, achieving film adhesion scratch-test critical load Lc >= 80 N.

İkili-Gaz Akışı Düzenlemesi:Reaktif gazlar (N2, C2H2, O2) için kapasitans manometreleri ve yüksek-hassasiyetli MFC'ler kullanılarak kapalı-döngü geri besleme kontrolü.

Modüler Biriktirme Kaynakları:Değiştirilebilir düzlemsel ve silindirik düzenler, çok-katmanlı mimariler için hızlı hedef değiştirmeye olanak tanır.

Kaba Pompa:Yağın geri akışını ortadan kaldırmak için döner kanatlı veya kuru vidalı mekanik destek.

Yüksek Vakum Pompası: Magnetic levitation turbo molecular pump (>= 3200 L/s) bir kök üfleyiciyle eşleştirildi.

Sızdırmazlık ve Vanalar:Pnömatik sürgülü vanalar, Viton/metal contalı ISO-F/CF flanşlar; helyum kütle spektrometresi sızıntı hızı < 1 x 10^-9 Pa*m^3/s.

Basınç İzleme:Kombine Pirani ve soğuk katot iyonizasyon göstergeleri.

Standart Katot Hedefleri:Ti, Al, Cr, TiAl, Zr, Cu, Graphite (purity >= 99.95%).

Yüzey Malzemeleri:Semente karbürler (WC-Co), HSS, alaşımlı çelikler (SKD11, 40Cr), titanyum alaşımları (Ti-6Al-4V) ve paslanmaz çelik (304, 316L).

Ön-Muamele:Biriktirmeden önce yüzey oksitlerini ortadan kaldırmak için ultrasonik yağdan arındırma ve-yerinde argon plazma iyonu aşındırma (Ar+ bombardımanı) gerektirir.

Kesme ve Şekillendirme Aletleri:Kuru işleme altında takım ömrünü %200 - 400% oranında uzatmak için TiAlN/TiN ile kaplanmış parmak frezeler, azdırma takımları ve kesici uçlar.

Otomotiv Bileşenleri:Sınır sürtünmesini ve sürtünmeyi azaltmak için piston segmanları, enjektör pimleri ve iticiler CrN/DLC ile kaplanmıştır.

Tıbbi Cihazlar:Biyouyumluluk ve korozyon direnci için TiN/ZrN kullanan ortopedik vidalar, cerrahi bıçaklar ve diş dayanakları.

Endüstriyel Donanım:Mold cavities and precision gears requiring high surface hardness (>3000 HV).

Hazne Boyutlandırması:Belirli parti hacimlerine veya büyük boyutlu iş parçalarına göre ölçeklendirilmiş özel iç çaplar ve yükseklik profilleri.

Katot Düzeni:+/- 8% dahilinde kalınlık dağılımını sağlamak için simetrik olarak konumlandırılmış 4 ila 12 adet yapılandırılabilir ark kaynağı yuvası.

Önyargı Entegrasyonu:Standart katodik ark kaynaklarının yanı sıra isteğe bağlı yüksek-güçlü darbeli magnetron püskürtme (HPPMS) hibrit entegrasyonu.

Otomasyon:Otomatik yükleme kolları ve SCADA üretim yürütme sistemleriyle entegrasyon.

Malzeme Denetimi:Spectrographic analysis verifying raw target metallic purity (>= 99.95%).

Yapısal Test:Odaların CMM boyutsal doğrulaması ve soğutma kanallarının hidrostatik basınç testi.

Fabrika Kabul Testi (FAT):Mekanik rotasyonu, pompalama eğrilerini ve termal stabiliteyi kapsayan 72-saatlik sürekli kuru-çalışma testi.

Kaplama Doğrulaması:Test kuponları, disk üzerinde pin{0}}aşınma testi, Rockwell girintisi ve kesit FESEM kalınlık analizi- yoluyla değerlendirilmiştir.

Site Hazırlığı:Zemin yükü sınırları, soğutma suyu akış hızları ve elektrik barası gereksinimleri için ayrıntılı mühendislik belgeleri.

Devreye alma:Saha mühendisleri tarafından-yerinde kurulum, vakum kalibrasyonu ve temel süreç tarifi aktarımı.

Operatör Eğitimi:Rutin bakım, hedef değiştirme, sızıntı arama ve temel PLC sorun giderme işlemlerini kapsayan yapılandırılmış programlar.

Yaşam Döngüsü Desteği:Gerçek-zamanlı parametre kaydı ve hızlı hata izolasyonu için uzaktan teşhis arayüzü entegrasyonu.