PVD Kompozit Biriktirme Ekipmanları

Endüstriyel PVD Kompozit Biriktirme Ekipmanı, çok-bileşenli, çok-katmanlı ve nano-kompozit ince-film üretimi için tasarlanmıştır. Sistem, film bileşimini, arayüz keskinliğini ve artık gerilimi kontrol etmek için termal buharlaştırmayı, e- ışın buharlaşmasını ve magnetron püskürtme kaynaklarını tek bir vakum ortamında birleştirir. Sürekli Ar-Ge ve üretim için tasarlanan mimari, düşük taban basıncına, modüler kaynak konfigürasyonuna ve temiz bakım erişimine sahiptir.

Modüler Kaynak Entegrasyonu:Oda portları, çapraz kontaminasyon olmadan buharlaşma ve püskürtme kaynaklarının eş zamanlı veya sıralı çalışmasına olanak tanır.

Dinamik Yüzey Manipülasyonu:Çok-eksenli gezegensel veya salınımlı dönüş tahrik mekanizmaları, karmaşık 3D alt tabakalar ve derin kanallar üzerinde uyumlu kaplama sağlar.

Yerinde-İzleme Bağlantı Noktaları:Kuvars kristal mikro terazi (QCM), optik emisyon spektroskopisi (OES) ve geniş bant optik izleme (BOM) için önceden-hizalanmış flanşlar.

Yüksek-Saflıkta Vakum Bütünlüğü:Metal-mühürlü konflat (CF) flanşlar, pnömatik sürgülü vanalar ve 1,0 x 10^-10 Pa*m3/s'ye kadar Helyum kütle spektrometresi sızıntı testi.

Otomatik Kilitleme Güvenliği:Gerçek-zamanlı sensör geri bildirimi, soğutma suyu arızasına, basınçlı hava kaybına ve aşırı-sıcaklık anormalliklerine karşı koruma sağlar.

Kaba İşleme ve Kök Pompaları:Kök üfleyicilerle birleştirilmiş yağsız kuru vidalı pompalar, hidrokarbonun proses odasına geri akışını önler.

Yüksek-Vakum Pompaları:Hedef gaz yükü gereksinimlerine göre seçilen, manyetik olarak kaldırılan turbomoleküler pompalar veya kapalı-döngülü helyum kriyojenik pompaları.

Basınç Düzenlemesi:Kapasitans manometreleriyle entegre kısma valfi kontrolörleri, reaktif çalışmalar sırasında sabit proses basıncını (0,1 Pa ila 10 Pa) korur.

Optik Girişim Filtreleri:Lazerler ve sensörler için çok-katmanlı-yansımayı önleyici (AR) kaplamalar, bant geçiren filtreler ve yüksek-yansıtıcı aynalar.

-Dayanıklı Sert Kaplamalar Giyin: Hassas kesici takımlar ve otomotiv valf mekanizmaları üzerinde nanokompozit nitrür kaplamalar (TiAlN/Si3N4).

Mikroelektronik İnce Filmler:Yarı iletken ambalajlama için iletken bariyer katmanları, tohum katmanları ve kontak metalizasyon yığınları.

Fonksiyonel Enerji Filmleri:Fotovoltaik ve sensör cihazları için şeffaf iletken oksitler (TCO) ve emici katmanlar.

Hazne Boyutları:Ar-Ge ölçeğinden (400 mm küp) üretim ölçeğine (Çap. 1200 mm silindirik) kadar ölçeklendirilmiş hacim.

Kaynak Bağlantı Noktası Düzenleri:Üçüncü-taraf iyon kaynaklarını, plazma-destekli biriktirme (PAD) veya RF önyargı oluşturucularını entegre etmek için özel flanş konumlandırma.

Entegrasyonu Yükle-:Oksitlenmeyi önlemek için manuel yükleme-kilit, tek-wafer yükleme-kilit veya çok-bölmeli küme aracı yapılandırmaları.

Küresel Elektrik ve Güvenlik Uyumluluğu:UL 508A / NFPA 79 (Kuzey Amerika), CE (Avrupa) ve SEMI S2/S8 EHS kurallarına uygun olarak oluşturulmuş kontrol kabinleri.

Vakum Testi:Kaynaklı odalar, yüzey bitirme işleminden önce Helyum kütle spektrometresi sızıntı tespitine tabi tutulur.

Boyutsal Muayene:Kaynak montaj düzlemlerinin ve alt tabaka toleranslarının koordinat ölçüm makinesi (CMM) doğrulaması.

Fabrika Kabul Testi (FAT):Temel basınç düşüşünü, pompalama eğrilerini ve PLC yanıt günlüklerini kaydeden 72-saatlik sürekli kuru-çalışma testi.

Kurulum Öncesi-Mühendislik:Tesis gereksinim kılavuzlarının sağlanması (kamu hizmetleri, soğutma suyu akışı/basıncı, egzoz havalandırması, temiz oda zemin yüklemesi).

-Sitede Hizmete Alma:Saha servis mühendisleri teçhizatı, vakum hattı bağlantısını, elektrik bağlantısını-ve ilk pompalamayı-denetler.

Süreç Ayarlama Yardımı:Film tekdüzeliğini ve biriktirme oranlarını doğrulamak için müşteri mühendislik ekipleriyle ortak deneme çalışmaları yapılır.

Yaşam Döngüsü Desteği:Yerelleştirilmiş yedek parça envanteriyle desteklenen, gerçek zamanlı-PLC sorun giderme işlemleri için uzaktan teşhis modülü entegrasyonu.