Bu katodik ark buharlaştırma sistemi, tamamen iyonize metal plazma oluşturmak için katı katot hedeflerini düşük-voltajlı, yüksek-akımlı bir elektrik arkı aracılığıyla buharlaştırır. Standart termal buharlaştırma veya magnetron püskürtmeyle karşılaştırıldığında bu PVD işlemi, işlevsel, aşınmaya- dirençli ve dekoratif sert kaplamalar için özel olarak tasarlanmış, daha yüksek plazma yoğunluğu ve filmden alt tabakaya üstün yapışma sağlar.
Teknik Özellikler
|
Parametre |
Spesifikasyon Aralığı / Değeri |
|
Hazne Boyutları |
Özel silindirik/kutu konfigürasyonları (Standart: Φ600mm x 600mm ila 1200mm x 1200mm) |
|
Üstün Vakum Basıncı |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Turbo-molecular and rotary vane/roots pump suite) |
|
Pompa-Kapalı Kalma Süresi |
8,0 x 10^-3 Pa'ya kadar atmosferik<= 15 minutes (Dry, clean, empty chamber) |
|
Ark Güç Kaynakları |
Darbeli ve DC jeneratörler (Çıkış: 0 - 200Ayarlanabilir, dalgalı<= 1%) |
|
Katot Kaynakları |
2 ila 6 manyetik-filtrelenmiş veya standart dairesel/dikdörtgen direksiyon ark kaynağı |
|
Substrat Önyargı Gerilimi |
0 - -1000V DC/Darbeli önyargı (Frekans: 10 - 100 kHz) |
|
Substrat Dönüşü |
Su/elektrik geçişlerine sahip gezegensel veya tek-eksenli dönüş mekanizması (1 - 15 RPM) |
|
Operasyonel Kontrol |
Otomatik tarif yürütme ve manuel kilitleme geçersiz kılma özellikli PLC + Endüstriyel PC |
Temel Özellikler
Manyetik Filtreli Kaynaklar:Dahili manyetik kanallar, birleştirilmiş mikro damlacıkları buhar akışından uzaklaştırarak hassas parçalar için düşük yüzey pürüzlülüğü (Ra) sağlar.
Kapalı-Döngü Önyargı Kontrolü: Synchronized pulsed bias regulation manages ion bombardment energy dynamically, relieving residual internal stress in thick ceramic coatings (>10um).
Yüksek İyonlaşma Oranı:Plazma iyonizasyon verimliliği %40 - 80%'e ulaşır ve harici radyo frekansı yardımı olmadan yoğun kimyasal bağlanmayı sağlar.
Modüler Oda Tasarımı:Elektro-parlatılmış iç yüzeylere sahip 304/316L paslanmaz çelikten üretilmiştir (Ra<= 0.4 um), minimizing outgassing and vacuum cycle times.
Vakum Sistemi Konfigürasyonu
Kaba İşleme ve Kök Pompaları:Mekanik güçlendirici üfleyicilerle eşleştirilmiş çift-kademeli döner kanatlı pompalar, reaktif N2 veya C2H2 enjeksiyonu sırasında ilk kaba işleme ve yüksek gaz yüklerinin üstesinden gelir.
Yüksek Vakum Pompaları:Manyetik kaldırma turbo-moleküler pompalar (1200 - 3200 L/s), artık su buharı ve hafif gazlar için yüksek pompalama hızlarını korur.
Valfler ve Ölçme:Pnömatik sürgülü vanalar, ISO/CF yüksek-vakum sızdırmazlık flanşları ve doğrudan PLC kilitleme döngüsüne entegre edilmiş kombine Pirani/sıcak-katot iyonizasyon göstergeleri.
Malzemeler ve Yüzey Uyumluluğu
Uyumlu Katot Hedefleri
Saf Metaller:Ti, Cr, Al, Zr, Cu, Ni, Ag, Mo, W
Alaşımlar ve Bileşikler:Elmas-benzeri karbon (DLC) birikimi için TiAl, CrAl, TiSi, WC, grafit hedefleri
Yüzey Malzemeleri
Sert Metaller ve Karbürler:Semente karbürler (WC-Co), yüksek-hız çeliği (HSS), paslanmaz çelik kesici uçlar
Yarı İletkenler ve Seramikler:Silikon levhalar, alümina (Al2O3), mühendislik teknik seramikleri
Uygulamalar
Kesici Aletler ve Kalıplar:Yüzey sertliğini 2500 - 3500 HV'ye çıkarmak ve sürtünmeyi azaltmak için matkaplar, parmak frezeler ve damgalama kalıpları üzerinde TiN, TiAlN ve CrN biriktirme.
Otomotiv Bileşenleri:Piston segmanları, enjektör pimleri ve dişli dişleri üzerinde aşınmaya-dayanıklı ve-düşük sürtünmeli katmanlar.
Dekoratif Sert Kaplamalar:Donanım ve tüketici elektroniği muhafazaları için PVD renkli kaplamalar (altın, pembe altın, tunç metali, siyah titanyum).
Fonksiyonel İnce Filmler:Mikroelektronik ve yarı iletken ambalajlama için iletken ve bariyer katmanları.
Özelleştirme
Hazne Boyutlandırması:Belirli parti geometrilerine ve üretim ayak izlerine uygun ölçeklendirilmiş hacim değişiklikleri.
Kaynak Hibridizasyonu:Degrade çok katmanlı filmler için katodik ark kaynaklarını dengesiz magnetron püskürtme (UBMS) katotlarıyla birleştiren çok-katotlu entegrasyonlar.
Yüzey Fikstürü:Özel planet düzenekler, 600 dereceye kadar lokalize ısıtma dizileri ve özelleştirilmiş güç geçişleri.
Yazılım Entegrasyonu:Özel PLC reçete mantığı, SCADA veri kaydı ve endüstriyel uyumluluk yapılandırmaları.
Kalite Kontrol
Sızıntı Tespiti:Tüm bölmelerde ve kaynak dikişlerinde helyum kütle spektrometresi testi, genel sızıntı oranını garanti eder<= 1.0 x 10^-9 Pa·m^3/s.
Elektrik Güvenliği Denetimi:Yüksek{0}potansiyelli dielektrik dayanım testi, topraklama sürekliliği kontrolleri ve kasaya yerleştirme öncesinde kilitleme yanıtı doğrulaması.
Malzeme İzlenebilirliği:Yapısal paslanmaz çelik, vakum contaları ve yüksek-yüksek voltajlı yalıtım bileşenleri için malzeme testi raporları (MTR'ler) sağlanmıştır.
Gönderim Öncesi-Deneme Çalıştırması:Pompalama ünitesinin, rotasyon sürücülerinin ve güç kaynaklarının simüle edilmiş döngüler altında 72-saatlik sürekli kuru çalışma testi.
Kurulum ve Teknik Destek
Site Hazırlama Kılavuzu:Utilities documentation covering floor load limits, cooling water flow rates (>20 - 25 derecede 15 m^3/h), egzoz tahliyesi ve elektrik düşüşleri (380V/480V, 3 fazlı, 50/60Hz).
Devreye Alma ve Kabul:Tesisimizde Fabrika Kabul Testleri (FAT); Site Kabul Testi (SAT) ve süreç devri,-yerinde yerleşik mühendisler tarafından gerçekleştirilir.
Yaşam Döngüsü Desteği:Güvenli VPN uzaktan tanılama, yedek parça envanter stoklama (hedefler, korumalar, mühürler) ve yerel teknisyen bakım eğitimi.
SSS
S: Sistem ark buharlaşmasından kaynaklanan damlacık (makropartikül) oluşumunu nasıl en aza indirir?
C: Sistem manyetik filtreli katodik ark kaynaklarını (manyetik direksiyon ve kanal filtreleme) kullanır. Bu, mikrodamlacıkları dahili saptırma plakaları üzerinde hapsederken plazma akışını büker ve pürüzsüz, damlacıksız-bir film morfolojisi sağlar.
S: Biriktirme sırasında alt tabakanın sıcaklık aralığı nedir ve ısı nasıl yönetilir?
C: Çalışma sıcaklıkları 150 dereceden 500 dereceye kadar değişir. Alt tabaka tutucunun içindeki entegre radyasyon ısıtıcıları ve kapalı-döngü su{-soğutma kanalları, hassas bileşenlerin termal bozulmasını önler.
S: Ekipman otomatik üretim döngülerini sürekli olarak çalıştırabilir mi?
C: Evet. PLC mimarisi, pompalama-yışını, hedef koşullandırmayı, ark ateşlemeyi, kütle akış kontrolörleri (MFC'ler) aracılığıyla reaktif gaz kontrolünü ve çoklu-toplu çalıştırmalar boyunca havalandırma sıralarını otomatikleştirir.
S: Teslimattan önce sahada-hangi hizmet gereksinimlerinin hazır olması gerekir?
C: Gereksinimler arasında stabil soğutulmuş su kaynağı, pnömatik valfler için basınçlı hava (0.6 - 0.8 MPa), sistem yüküyle eşleşen elektrik gücü beslemeleri (60 - 120 kVA) ve düzenlenmiş proses gaz hatları (Argon, Nitrojen, Asetilen) yer alır.
Popüler Etiketler: ark buharlaşma ince film ekipmanı, Çin ark buharlaşma ince film ekipmanı üreticileri, tedarikçiler, fabrika
