Yoğun, aşınmaya dayanıklı ve işlevsel sert kaplamaların yüksek-hızlı sentezi için tasarlanmış endüstriyel fiziksel buhar biriktirme (PVD) platformu. Katı hedef yüzeylerde yüksek-akım, düşük-voltajlı katodik ark deşarjının sürdürülmesi, %80 ila %100'e yakın iyonize plazma akışı üretir.
Programlanabilir negatif alt tabaka eğilimi ile birleştiğinde, bu yüksek kinetik enerji atomik-ölçekli arayüzey karışımını harekete geçirerek üstün film yapışması ve sıfır sütunlu gözeneklilik sağlar. Oda mimarisi, tek-katmanlı, çok-katmanlı nano-laminatların ve stokiyometrik gradyan kaplamaların (TiN, TiAlN, CrN, TiCN) otomatik biriktirilmesi için modüler çoklu-katot konfigürasyonlarını destekler.
Teknik Özellikler
|
Parametre |
Mühendislik Şartnamesi |
|
Hazne Boyutları |
Özel silindirik/dikdörtgen (Standart: Phi 800 mm x 1000 mm'den Phi 2000 mm'ye kadar) |
|
Oda Yapısı |
Entegre spiral soğutma suyu kanallarına sahip çift-duvarlı SUS304/316L paslanmaz çelik |
|
Üstün Vakum Basıncı |
<= 5.0 x 10^-4 Pa (Backed by magnetic levitation turbomolecular + roots-rotary pump stack) |
|
Pompa-Aşağı Döngüsü |
6,0 x 10^-3 Pa'ya kadar atmosfer<= 15 minutes |
|
Katot Ark Kaynakları |
4 ila 8 bağımsız DC kanalı (Phi 85 mm / Phi 100 mm su-soğutmalı hedef tutucular) |
|
Ark Gücü Çıkışı |
0-200 A kanal başına sürekli olarak ayarlanabilir; entegre mikrosaniyelik ark söndürme |
|
Substrat Eğilimi Arzı |
0-1000 V ayarlanabilir, Darbeli DC çıkış (frekans aralığı 10-50 kHz) |
|
Yüzey Isıtma |
Kuvars kızılötesi lamba dizisi; operasyonel tavan 600 derece (+/- 5 derece bütünlük) |
|
Fikstür Hareketi |
Manyetik sıvı döner geçişler (0-5 RPM) aracılığıyla gezegensel veya çift-eksen dönüşü |
|
Kontrol Mimarisi |
Kablolu güvenlik kilitleriyle gerçek-zamanlı tarif yürütme çalıştıran PLC + Endüstriyel PC (IPC) |
Temel Özellikler
Yüksek İyonlaşma Oranı:Doğrudan katodik buharlaştırma, metalik akıyı yüksek-yoğunluklu iyonlara dönüştürerek mikro-boşluklar olmadan yoğun tanecik yapılarını destekler.
Aktif Manyetik Direksiyon:Programlanabilir elektromanyetik bobinler ark noktasını hedef yüzeyler boyunca tarayarak lokalize kraterleşmeyi bastırır ve hedef malzeme kullanımını %60'ın üzerine çıkarır.
Dinamik Gaz Kontrolü:Kapalı-döngülü Kütle Akışı Kontrolörleri (MFC'ler), gerçek-zamanlı kısmi basınç geri bildirimi aracılığıyla reaktif gaz enjeksiyonunu (N2, O2, C2H2) düzenler.
Çoklu-Kaynaklı Sinerji:Bölme duvarları hibrit hedef düzenlerini barındırır ve çok-bileşenli seramik katmanların tek bir vakum döngüsünde kesintisiz sıralı biriktirilmesine olanak tanır.
Vakum Sistemi Konfigürasyonu
Kaba İşleme ve Kökler Grubu:Reaktif işleme sırasında yüksek gaz yüklerinin üstesinden gelmek için yüksek-deplasmanlı Roots üfleyiciyle eşleştirilmiş doğrudan-tahrikli döner kanatlı pompa.
Yüksek Vakum Aşaması:Magnetic levitation turbomolecular pump (>= 1600 L/s) yüksek-iletkenliğe sahip pnömatik sürgülü vana aracılığıyla bağlanmıştır.
Vakum Aletleri:Atmosferden 10^-6 Pa'ya kadar toplam basınç aralıklarını izleyen birbirine kenetlenmiş Pirani ve Cold Cathode çift-gösterge kurulumu.
Sızıntı Bütünlüğü:Elastomer-su yalıtımlı flanşlar-su ceketli soğutma, sistem sızıntı oranlarını 1,0 x 10^-9 Pa*m3/s'nin altında tutar.
Buharlaşma Malzemeleri ve Yüzey Uyumluluğu
Katot Hedef Malzemeleri
Geçiş Metalleri ve Alaşımları:Titanyum (Ti), Krom (Cr), Zirkonyum (Zr), Alüminyum (Al), Titanyum-Alüminyum (TiAl 50/50, 33/67), Tungsten (W).
-Metalik Olmayanlar:Elmas-Benzeri Karbon (DLC) ve karbür katmanlar için yüksek-saflıkta Grafit (C).
Endüstriyel Yüzeyler
Takım Çelikleri ve Karbürler:Yüksek-Hız Çeliği (HSS), Semente Karbürler (WC-Co).
Yapısal Alaşımlar:Östenitik/Martensitik Paslanmaz Çelikler, Titanyum Alaşımları (TC4), Nikel-bazlı Süper Alaşımlar (Inconel).
Uygulamalar
Hassas Kesme Aletleri:Yüzey sertliğini 3300-3500 HV'ye yükseltmek ve termal oksidasyon direncini 800 dereceye kadar yükseltmek için matkaplar, parmak frezeler ve dişli ocaklar üzerinde TiAlN ve AlTiN biriktirme.
Otomotiv Mühendisliği:Yakıt enjeksiyon bileşenleri, piston segmanları ve iticiler üzerinde düşük-sürtünmeye, aşınmaya-dirençli kaplamalar.
Kalıplar ve Kalıplar:Yapışkan aşınmayı, mikro-kaynaklamayı ve reçine yapışmasını önlemek için plastik enjeksiyon kalıpları üzerinde krom nitrür (CrN) biriktirme.
Özelleştirme Seçenekleri
Hazne Boyutlandırması:Büyük boyutlu mimari paneller veya yüksek-işlemeli küçük takım karuselleri için özel olarak tasarlanmış geometrik değişiklikler.
Kaynak Hibridizasyonu:Katodik ark kaynaklarının dengesiz magnetron (UBM) püskürtme veya HiPIMS katotlarıyla birleşik bir gövdede entegrasyonu.
Otomasyon Arayüzleri:Otomatik yükleme kapağı seçeneklerinin yanı sıra OPC{0}UA protokolleri aracılığıyla fabrika MES entegrasyonu.
Kalite Kontrol ve Fabrika Testleri
Helyum Sızıntısı Doğrulaması:Tüm kaynaklarda ve vakum contalarında kütle spektrometresi sızıntı kontrolü gerçekleştirildi.
Elektrik Güvenliği Denetimi:Hipot yalıtım testi, topraklama sürekliliği kontrolleri ve Acil-durdurma devresi döngüsü doğrulaması.
72-Saatlik Yakma Testi:Sökmeden önce mekanik rotasyon sürücülerinin, su akış anahtarlarının ve PLC valf dizilerinin sürekli kuru çalışma döngüsü.
Fabrika Kabul Testi (FAT):Kalibrasyon kuponlarındaki temel vakum seviyelerini, ark ateşleme stabilitesini ve taban çizgisi kalınlık dağılımını doğrulamak için -sahada gerçekleştirilir.
Kurulum ve Teknik Destek
Tesis Gereksinimi Devri:Detailed utility drawings specifying floor loading capacity, chilled water specifications (>= 0.3 MPa, 15-25 derece), egzozun çıkarılması ve güç kaynağının düşmesi (3 fazlı, 380V/480V).
Sahayı Devreye Alma:Hizalama, bağlantı ve deneme gruplarını kapsayan-mekanik ve elektrik saha mühendisleri tarafından yerinde denetim.
Operatör Eğitimi:Yazılım tarifi yapılandırması, katot hedef değiştirme prosedürleri ve önleyici vakum bakımı hakkında yapılandırılmış talimatlar.
Uzaktan Teşhis:Yazılım telemetrisi ve sorun giderme desteği için kontrol paneline yerleşik güvenli endüstriyel VPN ağ geçidi.
Sıkça Sorulan Sorular
S: Sistem, filtrelenmemiş katodik ark proseslerinde yaygın olarak görülen mikro damlacıkları (makro parçacıklar) nasıl ele alıyor?
C: Standart konfigürasyonlar, ark noktası hızını kontrol etmek ve damlacık emisyonunu en aza indirmek için optimize edilmiş elektromanyetik yönlendirme alanlarını kullanır. Mikron altı kusur seviyeleri gerektiren yarı iletken veya optik uygulamalar için, Filtrelenmiş Katodik Ark (FCA) manyetik kanal modülleri, nötr makropartikülleri yakalamak üzere entegre edilebilir.
S: Tipik hedef değiştirme geri dönüş süresi nedir?
C: Katotlar, hızlı-ayrılan mekanik kenetleme tasarımlarını kullanır. Eğitimli bir operatör, yapısal bölme contalarını kırmadan 30 dakika içinde eksiksiz bir hedef değiştirme seti gerçekleştirebilir.
S: Sistem, operatör müdahalesi olmadan otomatik degrade çok{0}katmanlı işlemleri yürütebilir mi?
C: Evet. PLC tarif motoru, çok-aşamalı tarifleri kontrol eder, reaktif gaz kısmi basınçlarındaki geçişleri yönetir, alt tabaka eğilim profili oluşturmayı ve sıralı güç-kanal aktivasyonunu otomatik olarak yönetir.
S: Site hazırlığı için temel hizmet önkoşulları tam olarak nelerdir?
A: The installation site must supply a closed-loop industrial chiller (15-30 kW cooling capacity), clean compressed air (>= 0.6 MPa), high-purity process gases (Ar, N2, C2H2 at >= 99.999% saflık) ve istikrarlı endüstriyel 3 fazlı güç.
Popüler Etiketler: ark buharlaştırma biriktirme ekipmanı, Çin ark buharlaştırma biriktirme ekipmanı üreticileri, tedarikçiler, fabrika
